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蝕刻工藝中的高溫室效應潛力氣體
本文介紹了幾種高GWP氣體，如四氟化碳、八氟環丁烷等在蝕刻過程中對環境的負面影響，并探討了低GWP替代氣體六氟丁二烯的優勢，呼吁采用更環保的蝕刻材料以減少溫室效應。更多 +
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江西華特電子特氣項目年產1936.2噸 震撼發布！
江西華特電子化工有限公司計劃在江西省九江市永修縣經濟開發區星火工業園區現有廠區投資17400萬元建設年產1936.2噸電子特種氣體項目。該項目涉及三氟化氮和六氟丁二烯等優質電子氣體的生產，環評公布后備受關注。更多 +
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四氟化碳、三氟甲烷、六氟丁二烯電子行業中重要的蝕刻氣體
蝕刻是電子行業重要工藝，蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 作為新一代環保電子氣體，電子級C4F6成為集成電路IC芯片等制造時必不可少的刻蝕氣體，其GWP值簡直為0，而且能完結納米級溝槽的加工，成為電子工業領域內一把神奇的“刻刀”，比γ刀還γ！ 2015年，浙化院特種氣體研發團隊提出自主開發新一代含氟電子氣體C4F6的提純技能。 今天紐小編就帶大家一起看看C4F6是怎樣更多 +
