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蝕刻技術中特種氣體的作用
硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙烷/氧氣、三氟化氮等。但由于其各向同性,選擇性較差,因此改進后的蝕刻氣體通常包括氯基(Cl2)和溴基(Br2、HBr)氣體。反應后的生成物包括四氟化硅、四氯硅烷和SiBr4。鋁和金屬復合層的蝕刻通常采用氯基氣體,如CCl4、Cl2、BCl3等。產物主要包括AlCl3等 蝕刻是采用化學和物理方法,有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程。刻蝕的目的是在涂膠的硅片上正確地復制掩膜圖形。刻蝕分為濕法蝕更多 +
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氦氣等惰性氣體在球形燃料反應堆(PBR)的應用
繼去年剛剛啟動的兩個球形燃料技術新項目之后,中國核能技術進一步發展的浪潮即將出現。 在兩個漸進項目中,一個是原形調制劑設施 HTR-PM,計劃用于演示 HTR-10 球形燃料技術的商業潛力。另一個是氦氣燃氣渦輪發電機系統,該系統結合了原始的 HTR-10 反應堆。 中國也計劃在東部地區榮城建立一個 1.9 億瓦的反應堆試驗發電廠。如果試驗成功,該基地將一共建造 19 個球形燃料反應堆,發電量達到 36 億瓦。更多 +
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高頻氬氣刀好在哪里?
高頻氬氣刀,可以說這是近幾年臨床應用的一種新技術,它具有很多優點,比如說能夠有效、安全地減少由接觸而產生的感染,且對金屬支架不會起到破壞作用等。那么氬高頻氬氣刀與普通的電刀又有哪些區別呢? 1.首先高頻氬氣刀凝血快、止血效果可靠,術中失血少,手術時間縮短。不僅是對一般難以止血的部位,特別是對于大面積滲血有良好效果。對小血管輔以壓迫止血,同樣可以快速止血。手術中失血量一般減少50%左右,使病人少輸血或不輸血,手術時間也可以縮短約一半。 2.其次高頻氬更多 +
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我國已實現甲烷溫室一步轉為液態
昨日紐小編從上海科技大學獲悉,該校物質科學與技術學院左智偉科研團隊成功開發出一種廉價、高效的鈰基催化劑和醇催化劑的協同催化體系,解決了利用光能在室溫下把甲烷一步轉化為液態產品的科學難題,為甲烷轉化成高附加值的化工產品提供了嶄新的解決方案。 中國科學院院士、上海科技大學副校長丁奎嶺這樣評價這項研究成果:“由于甲烷分子碳氫鍵的高度穩定性和弱極性,它的轉化極具挑戰性,通常需要高溫高壓等苛刻的反應條件,因此如何在溫和條件下實現甲烷分子碳氫鍵的官能團化,被認為是化學中的&lsqu更多 +
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廢鋁制氫技術了解一下!
俄羅斯莫斯科鋼鐵學院研發出鋁及有色金屬廢料化學制氫技術及實驗裝置,所制備的氫可用于車載供電系統及固定式小型電力裝置。 科研團隊采用“鋁—水”系統以廢鋁作為反應物研發出化學制氫的整套技術,包括,原材料的化驗分析、廢鋁粉處理方案、氧化過程工藝參數的選擇、所制備固體金屬反應物儲存和運輸要求等。已研制出廢鋁制氫氧化劑,以及制氫實驗裝置。裝置適用于處理廢鋁及其他水解金屬以制備氫燃料,具有可靠的防爆性。由于金屬鋁表面易形成氧化保護膜,隔絕氧化劑與金屬鋁的接觸更多 +
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答疑時間——氫氣和燃料電池
1、什么時候發明了第一個燃料電池? 威爾士的科學家威廉·羅伯特·格羅夫爵士在1839年被發明燃料電池。但是,這項技術直到20世紀60年代才被商業化使用。 2、燃料電池如何發電? 與電池類似,燃料電池通過電化學反應產生電,其產生電而沒有任何燃燒。與電池不同,燃料電池不會用完和無需充電,并且只要提供恒定的燃料和氧氣源,就會持續提供電力。 3、燃料電池產生什么? 燃料電池通常使用氫產生電并且僅僅發出水和熱。對于更多 +
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超高純氣體了解一下!
首先,我們來了解一下什么是“超純氣體”呢? 超純氣體指純度高于99.99%的氣體,為適應一些科學研究和尖端技術的特殊需要而制備。一些對氣體要求特別純凈的部門,需要超純氣體的純度高達99.9999%以上,每升氣體中粒度大于0.5μm的塵粒數應小于三個。 目前,超純氣體的品種發展十分迅速,1981年至今,單一超純氣體已有120多種,混合超純氣體12類。 除以上的單一超純氣體還有二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷烷、丙二烯、順丁烯、丁二烯更多 +
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二氧化碳“變身”高能量密度液體醇燃料
中國科學技術大學(以下簡稱中國科大)的俞書宏教授課題組與多倫多大學科學家合作,首次讓二氧化碳“變身”多碳醇燃料成為現實,并為高能量密度液體醇燃料的選擇性制備提供了新的設計思路。 乙醇和丙醇作為可再生的運輸燃料,由于其高能量密度等特點,廣受關注。然而以二氧化碳電化學還原制備多碳醇充滿挑戰。電催化還原二氧化碳制備碳基化學原料,是解決可再生電能長期存儲問題的有效手段。 中國科大的科學家們在電催化還原二氧化碳研究中,發現一種特殊的納米結更多 +