電子氣體是指用于制造半導體、平板屏幕、發光二極管、太陽能電池等電子產品的基本原材料。廣泛用于清潔、蝕刻、成膜、摻雜等工藝。電子氣體的主要應用包括電子工業、太陽能電池、移動通信、汽車導航和汽車音頻和視頻系統、航空航天等許多領域。基于投資規模和產品質量的不同實際要求，行業內對電子輸氣系統的要求基本上有三種類型。我們之前與您共享了一個大型供氣系統，然后與您共享一個常規供氣系統和一個簡單供氣系統。

常規供氣系統

傳統供氣系統主要用于4-6英寸大型集成電路系統、50MW以下太陽能電池生產線、LED芯片工藝線等中等耗氣電子行業。他們的投資規模中等。該生產線可作為設備使用。控制氣體純度的要求并不嚴格。在滿足安全要求的情況下，系統配置盡可能簡單，以節省投資。

常規氣體供應系統中的大部分普通大型氣體由現場液體儲存（LIN、LOX、LAR）或集束供應。氣體通過管道系統輸送至工廠，氣體直接通過三通輸送至氣體消耗點。

特殊氣體由普通鋼瓶（<50L）供應。特殊輸氣系統采用氣瓶柜。配有自動PLC控制和彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥和壓力傳感器，可實現自動切換、自動氮氣沖洗和自動真空輔助排氣；多種安全措施，泄漏檢測，遠程緊急停機；氮氣沖洗的來源等。VMB采用雙氣動閥、氮氣沖洗和真空輔助抽空。惰性氣體采用半自動氣罐、繼電器控制、自動切換、手動沖洗、手動放空；VMB主管氣動閥，氮氣沖洗；分流閥、氮氣沖洗、真空輔助排氣。氣室和排氣系統根據氣體類型進行分類。

輕松供氣

簡易供氣系統主要針對4英寸及以下尺寸的半導體芯片工廠和半導體材料研究所。它們的制造工藝簡單，通常不需要連續供氣，供氣系統的投資預算低，生產和管理人員缺乏安全意識。

由于氣體流量低，通常使用普通鋼瓶（<50L）作為特殊氣源。半自動氣瓶柜或氣瓶車主要用于輸送系統，配有繼電器控制、自動切換、手動沖洗、手動排氣和有害氣體緊急切斷閥。惰性氣體瓶架采用全手動系統，有些甚至使用單瓶系統。它共享一個氣室，甚至沒有氣室。特殊氣瓶和輸送系統有時放置在回風管道中或工藝制造廠旁邊。共用一個排氣系統。該系統通常具有潛在的安全風險。