電子質量氣體具有大流量、連續穩定傳輸的發展趨勢，從而滿足大型量產工廠對電子質量氣體大流量、持續穩定傳輸的要求，是一個挑戰。

電子氣體傾向于集中供應，特殊氣體放置在氣室中。根據機器的流量要求合理配置輸送系統的數量。專用輸氣設備必須采用全自動切換供氣，并設計更多備用設備。對于低蒸氣壓氣體（WF6、DCS、BCl3、C5F8、ClF3等），有必要進行氣缸加熱、氣板加熱、管道跟蹤等?？紤]到，為了精確控制流量，一般假設采用高精度壓力變送器、電子天平、溫度控制器等。在空氣源的末端。機器的氣體消耗點也配有質量流量計。

對于高流量BSGS，不僅應考慮管道壓降和液體鋼瓶的蒸發吸熱對流量的影響，還應考慮通過壓力控制閥減壓后的電子質量氣體的焦耳-湯普森效應。通常，減壓后氣體的溫度降低或甚至液化。這會導致輸送壓力不穩定并損壞管道系統。因此，有必要考慮在減壓前預熱氣體。氣體監測系統（GMS）通過計算機網絡實現對輸氣系統的實時監測，以確保系統的穩定性。

對于液化氣（如氨）的BSGS，開發并形成了直接加熱液體的蒸發器系統，并將很快在BSGS的應用中推廣。