四氟化碳，這種能使火星升溫的氣體有什么用途？

四氟化碳，又稱四氟甲烷，是一種會引起溫室效應的氣體。它非常穩定，可以長時間停留

在大氣中，是一種非常強大的溫室氣體。科學家建議，如果每小時在火星上排放1000噸四

氟化碳，火星的平均溫度將在30年內升高27.8℃。

當然，四氟化碳的作用不僅僅是加熱！它也是微電子工業中最大的等離子蝕刻氣體，廣泛

應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等材料的蝕刻，廣泛應用于電子設備表面清洗、

太陽能電池生產、激光技術、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測劑、控制宇宙火箭姿態、印

刷電路生產中的去污劑、潤滑劑和制動液。

四氟化碳主要用于各種集成電路的等離子刻蝕過程，也用作激光氣體、低溫制冷劑、溶劑、

潤滑劑、絕緣材料和紅外檢測管的冷卻劑。

目前，超大型集成電路中使用的電子氣體的特點和發展趨勢是超純、超凈、多品種、多規

模。為了促進我國微電子產業的發展，各國越來越重視特種電子氣體生產技術的發展。目

前，四氟化碳長期占據蝕刻氣體市場，價格相對較低，具有廣闊的發展潛力。

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