氬氣純化的方法

純度是評估氣體品質的一項標準，對于氣體而言尤為重要。作為一種惰

性氣體，氬氣被廣泛應用于單晶和多晶生產的保護氣體中。為了確保硅

晶體的品質，選擇高純度的氬氣至關重要。這不僅能夠延長晶體的使用

壽命，還能夠滿足市場的需求。
一般來說，氬氣的凈化是通過使用清潔裝置來完成的。氬氣的凈化方法

可以分為直接脫氧法和吸氣劑提純法兩種。
直接脫氧法：通過讓活性金屬與氬氣中的氧發生反應，將氬氣中的氧分

解掉，從而實現脫氧的目標。此外，利用分子篩吸附作用，可以去除氬

氣中的水分子，使得氬氣的水含量控制在小于1ppm以下。
清潔吸氣劑的方法：使用吸氣劑清洗劑或干燥劑。吸氣劑能夠與氣體中

微小的雜質結合，使氣體變得更加純凈。通過使用吸氣劑凈化方法處理

，高純度氬氣的純度可達到六個九。
以上列出的兩種方法是對氬氣凈化方法的簡要介紹。相較而言，吸氣劑

清洗方法對設備的投資較大，但能夠達到更高的純度。這一方法在工業

領域被廣泛應用。